ACMR

会社概要

ACMリサーチ社は、その子会社と共に、世界中の集積回路の製造プロセスと歩留まりを向上させるためのシングルウエハー湿式クリーニング装置を開発、製造、販売しています。平坦およびパターン化されたウエハー表面向けには、メガソニック波の交互の位相を利用して微細レベルで均一にメガソニックエネルギーを供給する空間交互位相シフト技術を提供し、さらに、パターン化されたウエハー表面向けには、適時にエネルギーされたバブル振動技術を提供しています。